二手 MATTSON Paradigm SI #9241940 待售

MATTSON Paradigm SI是一种大体积的精密蚀刻设备，专门设计用于硅集成电路和晶圆的批量生产。这种高性能、经济实惠的蚀刻平台可以以较低的材料成本进行高速率蚀刻，质量一致，重复性优越。它特别适合作为蚀刻工艺的高电流源的大容量应用。范式SI提供了许多优于传统的湿蚀刻技术。单个系统最多可容纳四个蚀刻罐,并且能够在一次运行中执行多个蚀刻步骤,从而节省时间和成本。Asher/etcher具有计算机控制的电源,它允许精确、精确和可重复的蚀刻协议,并对蚀刻深度和/或蚀刻速率进行区域控制。它还具有多层处理能力，允许这一单元用于生产复杂的IC和晶圆以及多层金属和多硅。该机还具有用于切割窗口和其他穿透应用的刀具，以及用于金属或多硅晶片预处理的高功率电源。MATTSON Paradigm SI配备了化学过滤工具，有助于减少因废气或排放物而受到化学污染的机会。这种高效的废气资产还有助于减少径流和离线成本,从而最大限度地减少环境影响和成本。微处理操作也可以在磨砂或napton黑色腔室中进行，允许优越的加工质量和控制。范式SI配备了高端监控和数据记录系统，允许用户跟踪流程，监控每个流程的状态，并接收即时反馈以提高效率。这种最先进的高性能蚀刻模型既可靠又高效，为精密电子元件的工业生产提供了最大的吞吐量和优异的效果。此外,MATTSON Paradigm可直接与CAD/CAM软件交互,从而实现准确快速的设计更改。