二手 MATTSON Paradigm #293809621 待售

MATTSON Paradigm是一种蚀刻器/asher技术，采用光学光刻技术在基板上蚀刻或粉刷图样。该技术利用指向基板表面的粒子束来蚀刻或粉刷由单个像素位置组成的图桉。与传统的光刻技术相比，这种工艺用于在基板上创建更小、更复杂的特征。该过程从创建掩码开始,该掩码包含需要蚀刻或灰化到基板上的阵列。然后，利用高能量的粒子源，例如电子束或离子束，将该掩模投射到基板上。光束照射蒙版的每个像素,这会导致底物在与蒙版像素相对应的区域中被蚀刻或灰化。随着辐照过程的进行，基材的材料被去除，以创建所需的图样。范式的主要优点是它允许比传统光刻技术更小的特征的蚀刻或灰烬。这是因为这一过程的特征大小明显小于用于蚀刻或灰烬的粒子束的波长。此外,还可以对用于蚀刻或遮光的光束进行微调,以获得超出典型平版印刷分辨率的特征。这项技术还提供了比光刻更快的蚀刻或灰分时间，并且还可以获得比传统光刻通常能实现的更复杂的图桉形状。另外，在基板的两侧可以同时得到複杂的图样，使两面蚀刻或灰化成为可能。在局限性方面，MATTSON Paradigm不适合制造电路或集成电路的设备。此外,由于蚀刻面膜的厚度,它不能蚀刻或磨损细粒度特征,这增加了蚀刻细纹的难度。总体而言,范式是一种强大的蚀刻或灰烬技术,它允许以高分辨率蚀刻或灰烬复杂的图桉,同时实现更快的循环时间。但是,该技术仅限于单独的掩模布局,不适用于集成电路,而且在蚀刻或遮光细纹方面也受到限制。