二手 MATTSON Paradigm #9222745 待售

MATTSON Paradigm是一种精密且高度可靠的asher（或蚀刻器），用于制造电子工业中的微芯片和其他组件。它专为大批量生产复杂的电子元器件而设计，具有自动多室设备，用于蚀刻过程控制。范式由几个相互连接的会议厅组成。EMD（蚀刻室）是主室，具有两个精密的主轴，能够进行八向运动，以实现所需的微芯片模式。ARC（电弧室）是第二室，旨在为薄膜沉积提供高精度的环境。最后，LE（激光凋刻室）的设计是为了在芯片图样设计过程中达到高分辨率和精确度。MATTSON Paradigm还具有一个过程控制系统,该系统具有用户可编辑的设置,用于精确控制蚀刻操作。通过操作员对蚀刻参数进行进一步微调，以获得最佳效率和精度。该单元允许存储多个配方并易于访问。这允许从一台机器运行多个作业并同时处理各种材料。为了确保最高的精度和准确性,Paradigm采用了先进的机器诊断技术。这包括持续监测蚀刻室的温度和压力、主轴位置、激光束功率、图样方向以及剩余的光致抗蚀剂量。这些参数也与每个作业一起存储，并重新调整，以最大限度地提高芯片模式的精度和产量。MATTSON还提供了独特的热浸工具，以保护蚀刻室温度和促进蚀刻膜的均匀性。这延长了蚀刻室的寿命，并允许更高的吞吐量。总体而言,MATTSON Paradigm是用于大量生产复杂元件设计的理想解决方桉。其特点使其成为快速、精确芯片蚀刻的首选资产。自动化的多室模型确保了最佳的过程控制，其先进的诊断设备确保了最高的精度和准确性，使其成为任何需要精确微芯片蚀刻的应用的理想解决方桉。