二手 MATTSON Paradigme SI #9259601 待售
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MATTSON Paradigm SI是一种先进的蚀刻器/aser设备,设计用于设备制造的各种材料的精确阵列。该系统由三个主要组成部分组成：一个超高分辨率扫描单元、一个真空进给机构和一个压力控制气体以及一个专用的图桉室。扫描机利用专利扫描技术，帮助确保基板均匀暴露，以获得最佳蚀刻产量。该工具的设计是为了尽可能高的精度和可重复性，随着时间的推移阵列工艺参数。此外,资产还使用高级软件套件,为用户提供前所未有的蚀刻过程控制。真空进料机构旨在为蚀刻过程提供受控环境。这种真空进料模型消除了腔内的任何残留气体，有助于确保蚀刻工艺参数随时间保持一致。此外，这种设备有助于确保图样与现有基材轮廓物理对齐。压力控制气体为蚀刻剂提供了精确均匀的分布。该系统利用蚀刻剂的流动连续填充蚀刻室。这样可以确保蚀刻过程均匀且效率最高。此外，这一单元提供精确控制蚀刻剂的压力和浓度所需的最佳模式。专用图桉室的设计允许同时对多层进行快速图桉化，或对单次通过的完整图桉化。该室能够准确、重复地控制蚀刻环境，以确保每个图桉化，而无需大量的后期处理。这有助于减少总体生产时间和成本。总体而言,MATTSON Paradigm SI是一种先进的蚀刻器/aser机器,它提供了一种可靠且经济高效的方法来在各种材料上生成复杂的图桉。超高分辨率扫描技术、真空进料机构和压控气体的结合，为用户提供了无与伦比的蚀刻过程控制。此外，专用的图桉室有助于确保每个图桉正确对齐和完美与最小的后处理。
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