二手 MATTSON Suprema IM #9241280 待售

MATTSON Suprema IM是一种按订单设计的工程师（ETO）干蚀刻器/asher设备,旨在为高端半导体生产环境提供先进的工艺灵活性和成本效益。该系统为通用流程开发提供了一个全面的平台,为高性能设备提供了扩展的工具功能,并为客户需求提供了高级集成和软件支持。Suprema IM单元通过使用独特的等离子体源实现更高的性能稳定性和更高的效率水平。该源的设计可提供可调功率控制和更好的气体大气控制。等离子体源也为材料表面提供了强烈的化学吸附模式。该机还包括具有宽范围温度控制能力的三区流量控制，以提高加工精度。该工具还配备了高精度的工艺窗口。此窗口可确保精确的流程控制和可重复性,使客户能够通过其应用程序获得更高的收益。资产还配备了计算机控制流程和数据收集的规定。这使客户能够监控工艺步骤、材料移动以及膜厚度的检测/分析。除了这些功能外,MATTSON Suprema IM模型还设计为高度可靠且可现场使用。设备配有冗余组件，如电源、电源控制、通信等，一旦发生故障可轻松更换。此外，系统还建立了有效的维护和质量保证程序，以确保设备部件的最高质量和机器的性能。该工具还包括嵌入式软件工具,可帮助客户实现最高的流程性能。这包括MATTSON专有的过程控制软件以及客户提供的软件。该软件允许客户自定义自己的流程配方,并为数据查看、分析和流程控制提供各种不同的实用程序。Suprema IM是一种高度先进且可靠的蚀刻器/asher资产,旨在为客户提供流程灵活性和成本效益。它的高级特性和功能旨在使客户能够在其应用程序中实现尽可能高的性能。此外,它的维护功能和软件工具使其成为满足客户服务需求的绝佳选择。