二手 MATTSON Suprema IM #9241281 待售

MATTSON Suprema IM是一种自动化的、基于等离子体的湿蚀刻和灰化设备,设计用于处理200 mm以下的基板。它是半导体、薄膜、MEMS器件制造加工硅、GaAs、聚酰亚胺等蚀刻基材的理想选择。通用平台为用户提供了在基板尺寸不超过200毫米的单个工具中进行蚀刻和灰化的能力。Suprema IM是一个先进的蚀刻系统，结合了高纯度气体输送、精确的等离子体控制和温度控制，用于先进的工艺操作。它利用Conac™导电蚀刻的第一种化学方法，将各种材料如硅基基板加工成金属和介电材料，全部采用单一工具。MATTSON Suprema IM中的蚀刻功能提供低温操作,有助于最大程度地减少污染,并允许多个蚀刻步骤,同时保持基材质量。除了蚀刻，Suprema IM还具有基于等离子体的灰化工艺。它提供了一种受控挥发性等离子体灰分工艺，在单一工艺中产生高水平的灰分选择性。这个过程利用远距离等离子体或感应耦合等离子体（ICP）来提供介电残留膜的低温除灰。单位中的酸性化学物质为加工材料提供了较高水平的清洁度。MATTSON Suprema IM可配置其全面的交钥匙包,并为每个处理室提供各种用户设置,以实现最佳的可重复性。它还提供基于Windows/Mac的用户界面，用户可以在其中控制各种功能，如流程配方、与数据系统的连接以及远程机器访问。利用其数据库功能,用户可以存储和调用配方,并保存参数设置以加快进程执行。为了确保有效的维护和故障排除,Suprema IM提供了一个预测性维护平台,该平台是一个集成的平台,用于监视计算机并提醒用户注意任何问题或潜在问题。该工具还具有高度的安全特性，可减少操作员在操作过程中接触危险材料的情况。总体而言,MATTSON Suprema IM是一种先进而通用的湿蚀刻和灰化工具,适用于半导体、薄膜和MEMS器件制造的广泛应用。它具有高度可配置的用户平台、自动化数据库、预测维护以及高级安全功能,可提高生产效率和产量。