二手 MATTSON Suprema IM #9257461 待售

ID: 9257461
System.
MATTSON Suprema IM是为半导体行业设计的先进蚀刻和灰化机。Suprema IM能够单批处理几百个晶片,使其成为任何大批量生产需求的理想选择。它具有高吞吐量、低拥有成本和更短的上市时间。MATTSON Suprema IM提供高级流程功能和快速吞吐量。它采用低压冷藏蚀刻工艺,然后在不同的资本和温度下与各种化学品动态结合。这提供了卓越的均匀性在蚀刻和灰化,以及低缺陷水平。它还具有先进的温度控制功能,使用户能够优化蚀刻和蚀刻深度,以实现精细的图桉。它具有高达每小时80个晶圆的可扩展吞吐量,并配备自动调平功能,以确保每个周期都有精确的蚀刻深度。Suprema IM设计坚固耐用,耐用可靠。它带有外围设备包,包括底座、蚀刻和灰化系统、工艺配方模块、机箱和底座加热器。它还具有与其他MATTSON工艺检验和监控系统集成的高产和高产缺陷减少能力。它与大多数行业标准晶片拆装和进给系统兼容,包括那些与ARMPAX晶片处理系统兼容的系统。MATTSON Suprema IM的设计非常易于使用。它带有直观的图形用户界面(GUI),用于调整流程条件和管理作业。它还具有易于传输和处理的功能,并具有高级故障检测和恢复功能。此外,它的过程监测系统还提供实时分析和警报,以便采取快速纠正措施。总体而言,Suprema IM是一款针对半导体行业量身定制的高级蚀刻器和asher。它提供了卓越的流程功能、快速的吞吐量速率、强大的构造、直观的用户界面以及高级故障检测和恢复功能。因此,它是任何大批量生产环境的理想选择。
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