二手 MATTSON Suprema IM #9262053 待售

MATTSON Suprema IM是一款先进的蚀刻器/asher,非常适合关键且复杂的半导体器件制造。它具有卓越的性能、先进的过程控制、经济高效和强大的可扩展性。此蚀刻器/asher的设计目的是以较低的使用成本提供最大程度的过程控制和可重复性。这种先进的蚀刻器/asher提供了极具竞争力的过程吞吐量、产品质量和过程可扩展性。Suprema IM具有高分辨率成像，最小特征尺寸为0.25µm，最小线宽为0.2µm。它还具有现场可编程门阵列（FPGA），允许蚀刻器/asher发展和适应未来的应用。MATTSON Suprema IM具有广泛的蚀刻器和气体工艺，包括反应性离子蚀刻（RIE）、各向同性蚀刻、化学蒸气蚀刻（CVAE）和深层反应性离子蚀刻（DRIE）。这款蚀刻器/asher具有高规格的多种气体控制选项、高分辨率成像和超精确匹配。它具有增强的灵活性和可扩展性,使蚀刻器/asher能够用于各种过程模块,从清洁空间到减少环境。Suprema IM具有独特的腔室设计，允许从蚀刻器/灰烬中轻松装卸晶片，从而缩短加工时间，降低意外污染的风险。此外，该蚀刻器/asher具有先进的软件，以确保统一蚀刻和工艺控制。MATTSON Suprema IM提供了卓越的过程控制精度,并为广泛的应用提供了可重复和可重现的结果。它可以灵活地同时蚀刻多种材料，包括金属、氧化物、氮化物和硅化物，并尽量减少资源的使用。这款先进的蚀刻器/asher适用于高端内存、逻辑、微处理器和光电子设备的应用。Suprema IM经济实惠,在过程控制和设备制造方面提供最大效率。使用此蚀刻器/asher可减少停机时间,并为用户提供执行复杂过程时的灵活性。高性能、灵活性和可扩展性的结合使MATTSON Suprema IM成为先进半导体器件制造的理想解决方桉。