二手 MATTSON Suprema #182681 待售

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ID: 182681
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Resist ashing system, 12" PM1: Double Wafer Ashing PM2: Double Wafer Ashing 2008 vintage.
MATTSON Suprema是一种蚀刻器/asher设备,用于在各种曲面上创建高分辨率结构、电路和阵列。广泛应用于工程、器件制造、电路等微观表面处理。这台机器提供全面的特点和广泛的兼容材料和基板的工作。Suprema为各种材料和工艺提供了一系列兼容的蚀刻选项。它包括总共六个外部安装选项,包括激光、氦硼激光器、二氧化碳激光器、离子束和ArF激光器,以及反应性离子蚀刻和反应性离子铣削。这些工艺可以用来蚀刻黑色和有色材料,这取决于应用。它具有并行处理体系结构,具有最小的热预算,以确保蚀刻器的使用寿命更长。MATTSON Suprema拥有全面的射频屏蔽系统,使用户能够使用一系列高频组件。过程中使用的气体和其他材料使用一系列环境传感器和多点处理架构进行精确控制。内置的自动检测系统允许对进程进行远程监控和数据记录。使用独特的Suprema RF源,可以通过任何类型的特征大小、方向和控制在导电曲面上蚀刻阵列和形状。可以将工艺源配置为优化的蚀刻深度、深度控制和时间,以获得最佳效果。机器的各种选择和特点使其非常适合在实验室或生产级环境中使用。它旨在易于使用和维护,但对培训和知识的要求极低。软件界面设计直观,而内部照明系统确保在操作过程中蚀刻表面的可见性。MATTSON Suprema在准确性、精确度和可重复性方面都是先进的解决方桉。它是一个可靠和高效的蚀刻器/asher,是为满足广泛的需求和喜好而量身定制的。
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