二手 MATTSON Suprema #9358706 待售

MATTSON Suprema是一款可靠、耐用、高精度的蚀刻器/asher,专为晶圆制造过程中的各种应用而设计。为满足半导体工业的苛刻要求，设计了一种卓越的温度均匀性和最佳的临界尺寸控制。该设备采用极化等离子体源和石英室，以修改和改善蚀刻速率均匀性和轮廓控制。设计特性还包括高电流性能、可编程电流步骤以及用于高级蚀刻结果的高真空系统。Suprema使用操纵杆控制器提供行业标准的用户界面控制,以便于操作和模块选择。该工艺气体由多质量流量计输送，并为精确蚀刻性能进行控制。该蚀刻器具有两级颗粒过滤装置，有助于提高工艺的可重复性，减少蚀刻基板上的污染。该机兼容六氟化硫、SF6、氯等多种气体，加上先进的工艺控制功能，包括主动排量泵送、自动配方装载、样品旋转工具等。MATTSON Suprema促进了各种基材的高效可靠蚀刻。它具有一次蚀刻单个或多个晶片的能力和功能，实现了优越的蚀刻速率均匀性、更高的产量和更好的工艺稳定性。两级颗粒过滤工具确保了最佳蚀刻稳定性和可靠效果。该资产还具有连续流监控、在线分析、自动调整和配方存储等功能。Suprema定义了蚀刻性能的标准。它结合了高质量的元件和模块化的设计，以满足半导体行业的需求。该蚀刻器的温度均匀性非常适合精确的临界尺寸控制，而高电流性能和可编程电流步长有助于蚀刻速率均匀性。可靠的清洗模式有助于减少蚀刻基板上的污染。用户友好的控制、自动配方加载和样品旋转工具使设备成为晶圆制造过程中各种应用的理想选择。