二手 MAXIS 300L #293586674 待售
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MAXIS 300L是一种蚀刻器/asher，设计用于各种材料的深度蚀刻和灰化，包括金属、塑料、陶瓷和硅。这种蚀刻器/asher结合了两种蚀刻技术--HF（氟化氢）和mp（金属等离子体）--在单个腔室中实现深度和均匀的蚀刻。MAXIS 300 L采用15英寸方形腔室，由不锈钢制成，带有集成的发射器和接收器，实现了全四通道蚀刻/灰化。其独特的工艺气体----铀（U2O2）和六氟化氯（CF6）都增强了蚀刻效果----直接注入腔室，确保整个过程气体分布均匀。该蚀刻器/灰盒装有6个石英托盘,其中3个可拆卸,3个固定,用于样品处理。样品可以装载到石英托盘上，并通过一种称为转移梭子的机构转移到腔室。这种穿梭机也被用于将样品托盘从蚀刻器/asher运送到其他实验室进一步处理。300L配有内置安全系统,包括自动关闭和紧急停止（EN）按钮。此外，它的设计目的是防止过压，确保蚀刻器/灰烬的安全操作。300 L是一种全自动蚀刻器,具有两种操作模式-全手动和半自动-并提供多种过程监控工具,包括逐步晶圆扫描和模式比较功能。它还带有一个3D视图功能，以图形方式在三个维度上显示数据，允许用户查看过程结果。该系统配有可编程逻辑控制（PLC）板,可同步操作多个腔室,并配有用户友好的图形用户界面,提供交互式菜单和作业执行所需的每个步骤的逐步说明。此外，它的智能运动分析软件（IMAS）软件能够快速、方便地校准蚀刻参数，如速度、压力和工艺时间。此软件还使用户能够控制来自远程位置的蚀刻过程。MAXIS 300L是各种材料深度蚀刻和粉刷的理想工具。它的双重蚀刻技术和专门的设计使其非常适合在一系列材料上以高精度进行蚀刻和灰化。它设计用于可靠和可重复的性能,提供增强的安全性和改进的过程控制,从而使其成为高端应用程序的理想蚀刻器/灰度。
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