二手 MAXIS 300L #9216760 待售

MAXIS 300L是为制造高分辨率微元件而设计的先进热蚀刻器和asher。它是一个成熟的平台，为材料沉积、蚀刻和灰化提供了广泛的功能。MAXIS 300 L具有坚固的自动化设备和定制设计的气体入口和气体分配系统。其设计目的是提供均匀的气流，以便在残留污染最小的情况下进行一致的蚀刻和灰化。该装置能够处理各种气体、基板和施用压力。300L具有具有柔性气流配置的高级反应性离子蚀刻（RIE）模块。RIE模块支持各种蚀刻化学，包括湿蚀刻、ICP蚀刻、FIB蚀刻和PECVD蚀刻。RIE模块封装在密封的腔室中，并配有高精度雾化器、精密气体喷射机和数字信号处理工具。这确保了对功率和流量等蚀刻参数的严格控制，以实现均匀蚀刻和增强图样定义。300 L还具有柔性基板装卸资产。该型号支持包括玻璃、石英、陶瓷材料在内的多种基材。它配备了一个高分辨率的移动台，确保在基板加载和对准过程中的精度。设备具有高温、低压冷却能力，防止加工过程中过热。MAXIS 300L还包括一个高级ashing系统和一个高级密封外壳。这支持湿法和等离子体灰化过程。它能够处理各种具有高加工温度、压力和化学性质的材料。高级自动化单元可确保快速、一致的ashing过程。MAXIS 300 L兼容各种成像和计量系统，用于监测设计特征和过程中的测试。该机器具有深入的诊断功能,可实现各种应用程序的精确定制和优化。其他功能包括可定制的气体管理和软件控制的自动气体关闭。300L是制造和修改高分辨率微元件的理想平台。它提供了可靠的性能、灵活的过程控制和可靠的操作。