二手 MAXIS 300LA #293586670 待售
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MAXIS 300LA是专门为生产、研究和产品开发而设计的蚀刻设备。它是一种水平蚀刻剂，可以处理直径达300 mm的标准半导体晶片。该系统具有一个自动负载端口、一个主蚀刻机柜、一个废气单元、辅助分离器/搅拌器设备以及一个液晶屏,该液晶屏具有用于服务监控和直观操作控制的选项。自动载荷端口是一种易于使用的机器人式运输机，配有两个轴，有助于管理SC型（球形）晶片的处理。它还最大限度地减少了不可接受的晶圆不对准的机会，提高了生产效率，并提供了容易的非接触晶圆传输。300LA的主机柜由真空隔离室、静态床压力控制器、热电偶压力控制器、流动开关压力控制器和气体监控器组成。此外，该室的防腐蚀金属面板旨在消除与外部环境的任何通信。此机柜有助于控制压力、温度和气体流量,以便精确蚀刻。废气机用于将排出的蚀刻副产物从蚀刻室中引出MAXIS 300LA。它有一个排气板和四个泵，它们共同确保任何产生的蒸气的安全疏散。300LA还包括辅助分离器/搅拌器设备、阀门阵列、温度控制和流量控制。这些装置允许在蚀刻室中精确溷合多达两种前体气体，以获得更均匀的蚀刻结果。最后，同时具有服务监控选项和直观操作员控制的液晶显示屏允许全面的机器设置、过程控制和排队工具维护。此功能确保了晶圆的最大产量,而操作员只需付出最小的努力。总之，MAXIS 300LA蚀刻资产是生产、研发半导体晶片的可靠、通用、功能强大的工具。其自动载荷端口确保了晶片处理的简便和准确，其防腐蚀金属面板确保了与外部环境的通信，其废气模型确保了任何产生的蒸气的安全排出。其辅助分离器/溷合器设备、阀门阵列、温度和气体流量控制以及具有服务监控和直观操作员控制功能的液晶屏确保了质量的一致和最大程度的晶片生产,而操作员只需付出最小的努力。
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