二手 MAXIS 300LA #293591993 待售

MAXIS 300LA是一种高性能的等离子体蚀刻机，能够处理微电子、生物医学和微机电系统（MEMS）行业中的各种材料。它具有一个大的，直径300 mm的蚀刻室；允许快速、高精度的过程编辑轻松；并提供灵活的工作流管理软件,以实现操作员控制和数据分析。该机具有基于涡轮的集成真空系统，压力范围从1 x 10-3到5 x 10-3 mbar。这样可以对具有各种腔室设置的基板进行蚀刻,对于高蚀刻速率应用,最高温度可达400°C。此外,它允许快速进场,过程启动时间小于3分钟。300LA的高精度处理能力由一张蚀刻配方表进一步启用,该表具有激光驱动的深度感测和实时特征识别功能。使用该系统，操作员能够跟踪特征识别、对齐、配方选择和快速后处理序列。MAXIS 300LA还提供蚀刻后快速冷却,冷却时间少于3分钟。这种冷却系统还允许在蚀刻后进行快速晶片处理，平均时间少于3分钟。该机还具有高级模型,用于模拟零件上的热、蚀刻和应力效应,从而使versamtication能够优化工艺参数。300LA旨在确保高效运行和QA/QC合规性。除了参数锁定、后处理数据跟踪和统计过程控制等功能外,该机器还提供诊断和反馈功能,帮助维护过程可重复性以及过程跟踪和可追踪性。MAXIS 300LA还允许全自动操作,非常适合操作有限的高生产环境。300LA是一个功能强大的高性能蚀刻器/asher,它提供了许多功能和优势,使其适合各种应用程序。对于那些寻求高精度处理、快速结果和低工艺中断时间的人来说,它是一个理想的选择。