二手 MAXIS 300LA #293636259 待售

MAXIS 300LA 蚀刻器/asher是在半导体工业中使用的先进可靠的蚀刻器/asher。300LA旨在提供业界领先的流程周期,使用户能够实现亚微米蚀刻和灰化要求。具有较高的刻蚀精度和可重复性.MAXIS 300LA具有先进的化学室，由不锈钢制成，并具有用于精确温度控制的集成加热元件。这样就消除了外部气罐，并提供了一个密封室，以实现最大的工艺稳定性。集成加热元件适用于高达500 °C的温度范围。300LA还配备了集成真空抽水设备和压力控制系统。真空单元能够达到10-9 torr的真空水平。压力控制机非常精确，允许在蚀刻和灰化过程中对压力进行精确控制。这确保了该过程的非同寻常的可重复性。除了腔室外，MAXIS 300LA还提供了一套四个可选的卡式工具托架。这些载流子设计用来容纳各种晶圆和基材。300LA还配备了用户可选择的编程选项,可以精确控制旋转程度、功率级别、反应时间等。MAXIS 300LA 蚀刻器/asher能够提供可靠和一致的结果。凭借其先进的技术和强大的设计,它为需要对半导体应用进行精确蚀刻和灰化的用户提供了理想的解决方桉。