二手 MAXIS 300LA #9402510 待售

MAXIS 300LA是一种适用于多种类型的研究、实验室和工业应用的高性能蚀刻器/asher。它提供了无与伦比的性能，速度和精确度在蚀刻，ashing和decoating任务。它是为广泛的应用而设计的，从浅蚀刻通道到晶圆的深蚀刻。它使用两个平行等离子体，以两个不同的射频频率运行，以确保均匀蚀刻深度。蚀刻深度由300LA软件精确控制，这也使其能够与多种基板一起工作，如硅、半导体、玻璃和金属。它还实现了蚀刻和灰化参数的快速循环,提供了很高的生产率,同时保持了非常低的拥有成本。MAXIS 300LA由坚固可靠的组件组成,确保安全和不间断的运行。它具有300 mm晶圆蚀刻能力和200 mm晶圆灰化能力的专利等离子体源。它还具有使用寿命长的真空泵,可确保低运行成本.它具有通用和用户友好的软件选项,包括配方、宏和脉冲选项。这使它能够满足最复杂的应用程序需求。300LA还带有几个附件，如阶梯电机接口、基板加热器和物种质谱仪接口。MAXIS 300LA是一个强大的蚀刻和灰化系统设计广泛使用。其高性能,加上拥有成本的好处,使此工具在要求最苛刻的应用程序中占有一席之地。其用户友好的软件选项和附件使其成为研究小组、实验室和工业蚀刻应用的理想选择。