二手 MAXIS 300LAH #9409612 待售

MAXIS 300LAH是一种蚀刻器/灰化器，旨在对包括二氧化硅、硅、玻璃和金属在内的各种材料进行有效的反应性离子蚀刻和灰化。该设备经过精心设计，可实现出色的蚀刻轮廓，在价格有竞争力的平台上提供统一和可靠的结果。300LAH具有广泛的特点，适用于各种基材和蚀刻/灰化应用。它配备了300 mm石英氮化硼（QBN）工艺室，最大工作压力为200 mTorr，适合不同的蚀刻和灰化工艺。过程压力控制由多级线性粗加工泵和基础压力30 mTorr的涡轮泵组合实现。该系统还具有蚀刻源、差动泵送、遥感和手动样品加载等特点，适用于各种应用。MAXIS 300LAH上的蚀刻源是一种双涡轮分子泵，具有可调节的水平和垂直方向，便于变换和蚀刻图样方向优化。它配备了一台2 kW的射频发电机，能够提供高达2200瓦的功率，由500-VDC电源提供，允许在蚀刻和灰化参数方面最大的灵活性。300LAH还得益于精确的膜片前载荷提升，使基板和晶片能够在安全的环境中装载。它的倾转腔室旋转单元也是一个显着的优势，使得晶片可以方便的操纵直、均匀的蚀刻。为确保用户的安全环境，MAXIS 300LAH配备了集成应急按钮，该按钮在触发时立即关闭腔室并关闭电源。该计算机还得益于完整的界面,可通过直观的触摸屏显示进行访问,从而使用户能够监督和精确控制流程的每个步骤。总体而言，300LAH是一种经济高效的蚀刻/灰化工具，适用于晶圆加工、电子元件、陶瓷压板甚至光电器件等各种应用。其全面的功能和直观的界面使其成为任何蚀刻/灰化要求的完美工具。