二手 MAXIS 300LC #293643703 待售

MAXIS 300LC是一种全自动蚀刻器和asher设备，设计用于提供高端蚀刻、灰化和化学机械抛光（CMP）工艺。它集成在一个封闭和密封的系统中，该系统提供清洁和受控的环境，以确保一致的结果。该单元包括自动装载机以及子组件，如基板预处理单元、蚀刻室、CMP室和尾门扫描仪。用户友好的触摸屏界面允许轻松输入蚀刻参数，可以根据流程要求量身定制。自动装载机能够处理各种不同的基板，包括复合半导体、金属合金和陶瓷。300LC 蚀刻器/asher的基材预处理单元是一种利用超声波从基材中注入和去除工艺介质的自动化机器。此特性允许在基板表面进行精确且均匀的蚀刻。蚀刻室是一种多级工具，可提供高的蚀刻能力以及可选的用于精确蚀刻深度控制的自动塞子资产。CMP腔室设计为提供高蚀刻速率和低CMP功耗。它配备了一个可以精确控制蚀刻速率的自动沥青捕手。MAXIS 300LC旨在提供通用的CMP功能,具有可变间距和变频等功能,以优化蚀刻和CMP工艺。一个可选的等离子体灰烬也是可用的.等离子体粉碎机利用射频技术在广泛的基材上产生均匀的蚀刻和钝化。此外，300LC温度控制模块允许温度监测和补偿蚀刻和CMP工艺。MAXIS 300LC能够支持复杂的多步骤边缘过程,提供最大程度的过程控制和一致性。该模型是为可重复结果而设计的，允许一致和可靠的蚀刻和CMP工艺。设备还配备了大气控制模块，具有可调压力和氧气水平，用于精确的过程控制。总体而言，300LC蚀刻器是一种功能强大且用途广泛的蚀刻和CMP系统，可以处理各种基材和工艺。它提供卓越的性能、精确的过程控制和可重复的结果。它是蚀刻和CMP应用在半导体制造、研发等行业的理想解决方桉。