二手 MEMSSTAR ORBIS 3000 #293814967 待售

MEMSSTAR ORBIS 3000是一款采用水平和垂直配置设计的蚀刻器/asher设备,可实现过程灵活性和高吞吐量。它基于一个生产级平台，用于半导体织物和商业化中心，具有可靠的可靠性。该系统利用高效的等离子体蚀刻/灰化工艺来实现锐利的边缘、精确的图桉和均匀的线宽。ORBIS 3000包括工艺控制和功能，以提供先进的工艺控制，与传统的干蚀刻技术相比具有极好的重复性和可靠性。MEMSSTAR ORBIS 3000利用先进的供气装置提供精确稳定的气流，确保过程结果一致。此外,基板偏置发生器会自动调整基板偏置以进行端点检测,以便在晶圆上进行均匀蚀刻以产生所需的图样。ORBIS 3000还使用两个联锁进行过程控制和一个模式匹配算法进行离轴对齐。蚀刻过程包括一系列步骤：气体进入、射频电源应用、气体蚀刻/灰化、腔室/基板清洁和监测结果。该序列由一个实时过程控制器监测，该控制器根据底物温度、腔室压力和等离子体组成的波动调整射频功率和气体流量。MEMSSTAR ORBIS 3000特别拥有一个直径为9英寸的腔室、8英寸的青铜涡轮泵，以及一个带有真空泄漏检测机的8英寸油扩散泵。该工具能够操作到6500mTorr。上下电极均具有±旋转5度的电驱，Z轴行程为25mm。总体而言,ORBIS 3000是一种高级蚀刻器/asher资产,具有多种功能,可帮助优化蚀刻过程。与传统的干蚀刻技术相比,该模型提供了卓越的工艺灵活性和可重复性,并且能够在广泛的应用中提供稳定、高精度的结果。