二手 MEMSSTAR ORBIS Alpha #293657883 待售

MEMSSTAR ORBIS Alpha是一款先进的蚀刻器和asher，旨在应对广泛的表面处理应用。这种多功能蚀刻器能够处理各种基材，包括金属、陶瓷、复合材料、塑料和各种其他材料。该系统提供两个独立的工艺室，共有11种工艺气体：空气、氧气、氮气、氢气、氙气、氙气、氙气、氦气、一氧化碳、六氟化硫和三氧化硫，从而能够系统地改变蚀刻速率。ORBIS Alpha配备了先进的四区工艺室，提供单面和双面工艺的能力。这样就可以在一个过程中对四个不同表面区域的基板进行高效和有效的图样化,并能够覆盖蚀刻和灰化,以及在单个腔室内进行选择性蚀刻。MEMSSTAR ORBIS Alpha独特而高效的设计使它能够提供业界领先的性能和灵活性。具有进行低SAD和SOG表面处理的能力，可以在控制底切和相对表面粗糙度的同时，提供准确的轮廓和蚀刻速率控制。这使得它能够在金属和陶瓷基板上实现高长宽比开口和线宽低至1微米的表面处理。ORBIS Alpha先进的温度控制蚀刻和灰度处理可以精确控制过程参数和连续批次结果的可重复性。其独特的高功率微波、高频和高压工艺气体组合提供了优越的蚀刻和沉积效果。MEMSSTAR ORBIS Alpha还包含一个高灵敏度的热传感器，可以精确调整工艺参数和复杂的安全系统，以保护基板免受意外过热的影响。此外,该系统还具有多种集成的外围设备,如盒式磁带装载机、部件筛选器和粒子偏转器,可促进可靠、可重复和坚固的表面处理。总体而言，ORBIS Alpha是一款先进、灵活且用途广泛的蚀刻器和asher，提供卓越的分析性能和可重复性。凭借其易于使用的操作和全面的安全系统，该系统是MEMS、半导体和光学行业许多应用的理想选择。