二手 MITSUBISHI Tamagawa #9085621 待售

MITSUBISHI Tamagawa
ID: 9085621
晶圆大小: 12"
Final clean system, 12".
MITSUBISHI Tamagawa是一款用途广泛的蚀刻器或asher,专为高精度、高吞吐量和最佳生产力而设计。它具有独特的双臂机构,允许自动或手动处理。该过程高度自动化,操作简单,每个蚀刻过程都由一个中央控制器管理。设备配有车载计算机和方便用户的软件,以确保过程的质量和时间可靠和可重复。Tamagawa配备了Auto Wafer Open and Close (AWOC),这是一项专利功能,可精确控制晶圆的打开和关闭。该系统还具有自动控制的保护设置,可保护设备免受磨损,从而确保最大的机器寿命。LCD显示面板和用户友好的菜单界面可方便设置和操作。MITSUBISHI Tamagawa是一款功能强大的蚀刻和灰化工具,具有高分辨率激光和三维(3D)扫描头,可实现快速、精确的蚀刻和灰化。该工具采用激光束扫描、磁控管溅射、等离子体蚀刻等多种技术。它还采用了现代的护套技术,用于严密的过程控制、阀门、晶圆开合、样品到卡盘电极。目的是提供精确的蚀刻和高分辨率的蚀刻,且污染最小。该工具使用了先进的温度控制资产,以确保温度管理受到严密监管。此外,该模型使用自动气体清除和再循环设备,以确保无污染处理。该系统还可以独立运行或与其他系统协同运行,以最大限度地提高生产率。玉川是各种蚀刻和灰化应用的理想选择,包括半导体和显示器制造。它被设计为高度可靠、高效和支持流程流程。三菱玉川是电子制造、薄膜电子、微电子、医疗应用等多个行业的绝佳选择。
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