二手 MKS 660-072823-R200 #9164994 待售

MKS 660-072823-R200是一种多功能蚀刻器和灰化器,能够在各种蚀刻、灰化和清洁应用程序中提供卓越的性能。该设备采用330毫米x 300毫米x 605毫米单室压板室，容量13升。该腔室由不锈钢制成，旨在提供极好的耐腐蚀和与腐蚀相关的损伤。该压板还具有耐腐蚀性能，采用特殊的高性能退火工艺制造。这些特性结合在一起，创造出卓越的蚀刻和ashing体验。该系统还具有真空源和控制，能够达到各种温度和压力。这是用来抽出platen烟雾，并最优汽化蚀刻和灰化材料，分别。660-072823-R200还包括一些高级操作功能。这包括能够调整脉冲炉参数，以实现所需的蚀刻、灰化和清洁精确。用户界面还允许完全控制设备的参数,允许进行调整以精确控制温度、压力和处理持续时间。除了机器出色的蚀刻和灰化功能外，MKS 660-072823-R200还具有多种安全系统。这包括一个乙二醇和水冷的外部以防止过度加热，防凸起以保护压板和腔室免受任何高温暴露，以及一个特殊的高压阀门来控制压力和温度波动。这些安全系统旨在为用户提供操作工具时的安心。660-072823-R200是一个顶级蚀刻器和asher，并为用户提供可靠的性能，广泛的蚀刻，ashing和清洁过程。其庞大的腔室容量、先进的脉冲炉控制和先进的安全系统，使其成为精密可靠的蚀刻、灰化和清洁工艺的绝佳选择。