二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC UV-600 #9386602 待售
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MODULAR PROCESS TECHNOLY/MPTC UV-600是一种蚀刻器/asher,旨在满足高级MEMS、硅和III-V设备制造的苛刻工艺要求。此蚀刻器/asher采用模块化方法设计,便于自定义和集成到特定应用程序的特定需求中。MPTC UV-600能够对材料进行极其精确的蚀刻和渐近,最小线宽可达70 nm。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600的模块化设计允许在许多蚀刻应用程序中实现可定制的灵活性。它具有一个可容纳6英寸以下各种晶片尺寸的工艺室,并且可以使用多达108个配方步骤存储和召回可定制的工艺配方。它还配备了最先进的安全和诊断功能。UV-600采用MPTC获得专利的分子级联源（MCS）技术。这项技术为蚀刻器/asher提供了一种创新的等离子体源，它极其稳定且高度可重复。MCS技术采用低成本消耗品，免费维护，稀有气体消耗量降低10倍。MCS技术的好处转化为降低成本和提高工艺能力。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC UV-600还具有利用20种不同的蚀刻气体种类的令人印象深刻的蚀刻/灰化能力。它能够进行各种蚀刻和灰化，包括氧基物种、C4F6、Ar、SF6和NF3。通过设置气体流量、功率、蚀刻时间等工艺参数，可以优化各种应用的蚀刻过程。独特的蚀刻室设计可在诸如深部反应性离子蚀刻（DRIE）和高度可重复处理等利基市场上获得。MPTC UV-600具有直观的用户界面,为熟练的工程师和新手用户提供便利。它具有实时温度和压力监控系统,显示在集成的液晶显示屏中。该机还配备了有助于确保安全和延长设备寿命的故障安全系统。总而言之,MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600是一种蚀刻器/asher,旨在提供高度精确、可重复和可定制的蚀刻和灰化功能。它配备了广泛的蚀刻气体种类、易于定制的模块化设计以及直观的用户界面,为熟练和新手用户提供了保证。其获得专利的MCS技术，加上其实时温度和压力监测系统，使其成为可靠、经济高效的各种材料蚀刻和灰化的强大资源。
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