二手 MODUTEK SPS 620 #9176760 待售

MODUTEK SPS 620是一款蚀刻器/asher,提供高水平的精确性能和可靠性,是各种蚀刻和灰化应用的理想设备。这款高度先进的蚀刻器/asher采用19英寸触摸屏,使用户可以轻松访问其功能强大但用户友好的软件。该系统还配备了先进的Vactronic控制单元，为用户提供最精确的腔室温度控制可用。SPS 620具有双腔室设计，允许用户同时执行蚀刻和灰化过程，而无需将样品从一个腔室移动到另一个腔室。该机还提供蚀刻和灰化的同步操作，消除了手动操作的需要。内部晶圆承载工具允许精确的晶圆定位，位置精度± 2.5 μ m。该工具还具有一个10 x 10的腔室，可以处理多达8英寸的晶圆，并且可以蚀刻厚达10 μ米的基板。MODUTEK SPS 620采用工业级硬件和组件设计,使其成为最可靠、最耐用的蚀刻和灰化系统之一。其坚固的设计允许最高工艺温度高达500 °C，而获得专利的双壁蚀刻室设计则有助于提供出色的热保护水平和精确的温度控制。该资产还具有全自动晶片处理模型，以及内部电子束蒸发器和用于精确蚀刻和灰化的集成气体溷合设备。SPS 620的设计考虑到安全性,具有紧急停止按钮以及过温和过压保护功能。此外,它采用RS 232/485、以太网和USB通信端口的开放式体系结构设计使其能够轻松集成到现有实验室系统中。结合先进的功能、精确的性能和可靠的质量,MODUTEK SPS 620确实是任何蚀刻或灰化应用程序的绝佳选择。