二手 MORY DSV-3000 #9145025 待售

MORY DSV-3000是一种蚀刻机/灰化机，旨在为工业和实验室应用提供灵活、精确的蚀刻和灰化能力。它具有直观的图形用户界面和自动化流程,允许用户快速轻松地调整参数和调整设置以满足其特定需求。DSV-3000配备两个离子束源，提供优越的离子束质量，光束光斑大小为1.4毫米，离子能量范围为0至6千伏。这样可以确保高质量的蚀刻和灰化。该单元还具有可调节的光束倾斜和光束角度控制功能,允许用户相应地自定义蚀刻和灰化过程。此外,MORY DSV-3000还包括支持多种基材材料的集成基材级。这包括硅、玻璃、金属、陶瓷和聚合物。随着基板阶段，用户可以进行各种蚀刻和ashing操作具有极好的精度和可重复性。该单元包括与机器人和视觉系统的完全集成，以实现无人值守操作和自动化。此外，嵌入式控制系统还提供多功能对准、整流抛光、预蚀刻清洗和设备测试等智能流程。这样可确保执行每个蚀刻或灰化过程以精确匹配用户的设计意图。该单元采用XYZ运动系统，允许与基板级进行精细定位调节。DSV-3000还提供一系列软件工具，如图像处理、晶圆检测和自动对齐。这些工具使工作生产和质量管理更加高效和经济。MORY DSV-3000提供直观的触摸屏界面,便于导航和调整流程参数。该装置的设计符合最苛刻的蚀刻和灰化要求，完全符合CE和RoHS（危险物质限制指令）条例。