二手 MORY V-1500X #9132178 待售

MORY V-1500X是为高性能半导体制造而设计的最先进的蚀刻器/asher。这种设备采用"冷蚀刻"工艺，在基板的蚀刻/灰化，如晶圆、芯片、插入器等方面实现更高的精度和精度。该蚀刻器配有一个多级、高分辨率的真空室，可确保灰化过程中的最佳性能。该室保持一个稳定的环境，其积极的湿度控制，以消除潜在的污染物。蚀刻/灰化化学品的来源是由一个装在保护性外壳中的脉冲等离子体火炬提供的。火炬产生等离子体羽流，通过与扇形淋浴板集成的气体喷嘴输送到基片。这个淋浴板有助于将羽流均匀地分布在晶圆的整个表面上。这一过程由广泛的可自定义参数启用，包括压力、气流、脉冲长度、半导体能量和晶圆旋转速度。蚀刻器还配备了高分辨率、高精度的光学成像设备。该系统便于实时监测蚀刻/灰化过程,从而实现更高的精度和控制。它也用于检查基板的表面，以确保其均匀性和准确性之前的灰化过程。在安全方面，V-1500X被设计成在严格的工业标准内运作。其晶片监控单元装有三重冗余单元,可准确指示蚀刻/灰化过程中可能发生的任何危险或事件。设备还具有自动故障切换功能,允许它在出现问题时安全地停止进程。最后,MORY V-1500X具有简单的用户界面,可轻松自定义参数并快速排除故障。此蚀刻器/asher还具有一些附加功能,如智能冷却机、远程监控和内置性能工具,可实现更好的过程控制和监控。