二手 MRC RIE-51 #9382964 待售

MRC RIE-51是一种先进的等离子体蚀刻器/灰化器,它具有很大的工艺能力,为蚀刻和灰化工艺提供了显着的优势和灵活性。RIE-51采用模块化设计,具有广泛的工艺和选项,适用于各种行业和高端研究环境中的高级干蚀刻和灰化工艺。MRC RIE-51的模块化设计允许定制所有蚀刻工艺室组件,以实现最大程度的工艺灵活性、效率和可重复性。腔室温度高达400 °C,压力范围为0.1至2.0 torr,因此设备的加工能力涵盖了极为广泛的应用。它与大多数气体化学体系兼容，具有高性能的气体引入过滤和优越的气流控制。高真空泵提供快速、精确的真空泵以及低维护。集成、直观的控制系统提供高效的过程控制、温度和压力监控以及整体单元监控。此外,先进的安全功能确保操作人员的安全.蚀刻源分为两个区域，其中压力、温度、流量等众多参数是独立控制的。它还具有最佳匹配的射频加热、蚀刻和预偏置技术。这允许用户根据自己的特定需求定制蚀刻过程。RIE-51还提供先进的清洁功能，包括干湿清洁。湿式清洁有多种选择，包括采用多种化学方法进行单步或双步清洁，以实现最高的清洁效率。先进的干洗选项，如等离子体色调清洗，德加，和淬火可用于最具挑战性的软或硬材料蚀刻任务。MRC RIE-51出色的可重复性和高工艺能力使其适合广泛的应用，包括晶圆蚀刻和灰化、MEMS制造、先进的SOI设备制造等等。还具有先进的技术选择,包括氢气端接、热涂层去除和变频蚀刻能力。模块化和高级选项的结合使用户能够根据自己的需要对机器进行定制,使其成为一个高效、经济高效的解决方桉。