二手 MTJ P291 / P334 #9285840 待售

MTJ P291/ P334是一种高性能的蚀刻和灰化机，设计用于在直径最大为10英寸（25厘米）的基板上提供极其精确的微电子蚀刻、灰化和微加工。它是一种紧凑、自给自足的设备，易于使用，非常适合大学、实验室以及半导体和电子制造工艺。P291/ P334是一个专用的蚀刻和灰化系统，能够蚀刻和灰化浅至1 µm。该机采用微米级精密蚀刻/灰分转移装置，并配有自动锁载机，旨在优化生产率并确保一致的高质量蚀刻和灰分。该机具有先进的过程控制系统，可以处理不同的化学过程和基材，允许用户为每个过程选择最佳蚀刻参数。这包括为后流程计量和其他流程功能编程配方设置的能力。MTJ P291/ P334可配置为运行各种蚀刻化学设备,包括KOH、TMAH、MUF和SF6,还具有一个集成的气柜,可用于Ar/O2和XeF2流动。P291/ P334的其他功能包括可调节的装载机和先进的运动工具,以更快、更准确地放置和平移基板。此外，该机具有集成真空资产，允许更高的吞吐量和改进的基板处理。该型号还具有两个侧面冷却压缩机、两个集成温度控制器和一个具有自动参数调谐的多通道信号处理器，以获得最佳蚀刻性能。最后，MTJ P291/ P334配备了专利独立门机构，允许开门时进行保温。隔离门可防止在蚀刻和灰化过程中发生交叉污染和热冲击问题。此外，设备还融合了压力传感器、紧急关机等先进的安全功能，以及直观的人机界面（HMI），便于操作和监控。