二手 NANOPLAS DSB 6000 #293747090 待售

NANOPLAS DSB 6000是一款针对半导体、MEMS和LED行业中精密、细腻的单面精细图案工艺而设计的蚀刻器/asher。该装置设计精度高，动态精度为0.25um线宽和5nm重复尺寸。它配备了由NANOPLAS开发的具有波形叶片精确定位和支撑基座的专利直流光学设备。坚固、无维护的系统具有6 "x 6"固定、不可旋转的工作基板平台,可提供高达200 mm x 100 mm的活动加工面积,使其能够处理大型基板。它能够蚀刻各种材料，如硅、石英、半导体合金和蓝宝石。DSB 6000专为过程灵活性和鲁棒性而设计。它具有光纤耦合直接二极管激光器（二极管激光器阵列），3层顶部加热器具有50 um连续温度均匀化层，下方顶部加热面积层500 nm深度。蚀刻器/asher还具有x-y-z电机级、先进的自动堆叠、4掩模对准单元、自动/手动运动控制和自动对焦控制，便于操作。该装置配备了脉冲沉积激光器，具有40kHz的最大重复率、可调的脉冲能量和速度。用户友好型设计具有易于操作的人体工程学手柄,LCD显示屏提供实时信息,NANOPLAS DSB 6000嵌入了强大的诊断和诊断控制算法,使该工具易于使用和维护。为了使资产更加容易,该设备包括一个易于设置和操作的计算机软件包、一个能够快速更换asher的自动基板加载模型、一个便于编程的PLC（可编程逻辑控制器）,以及一个便于设置和操作的直观人机界面。DSB 6000是一种最先进的蚀刻器/asher,非常适合在具有精确的单面精细阵列工艺的生产环境中使用。它是一种可靠、准确的设备，易于使用和操作，将确保精细的图样制作过程能够精确完成。