二手 NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330 #293660507 待售
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NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330是为精密蚀刻和灰化应用而设计的先进蚀刻/灰化设备。该系统由电梯和压板两部分组成.升降机将晶片提升到以10mm/sec的速度运行的单元的上部,而压板由分辨率为0.2um的高精度电动驱动器驱动。机器总占地面积仅为420 x 400毫米，非常适合高溷合、低批量生产。NAURA ELEDE 330具有用户友好的图形触摸屏界面,能够对复杂的流程进行高效编程和过程监控。该工具能够支持多种气体配方，使用户能够轻松地在蚀刻和灰化过程之间以及从单个机器控制中切换各种气体溷合物。网络互连功能允许集成到第三方系统中,提供无缝连接和过程反馈数据。AKRION ELEDE 330还拥有离子源组件（ISA）,为所有类型的基板提供卓越的蚀刻和灰化性能。惰性金属室的设计目的是尽量减少电弧和等离子体泄漏，使任何材料都能均匀蚀刻。等离子体源可以利用频率和电压调节来进一步调整和优化，修改电子和粒子的构型，以便微调蚀刻过程。此外,ELEDE 330具有独立的气体输送资产和内置的质量流控制器,允许在蚀刻和灰化过程中进行精确的过程控制。该模型还包括源能量监测器和数字射频电容控制，确保极其稳定的蚀刻条件。NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330得到了NAURA出色的售后支持服务和保修服务的支持,从而为要求苛刻的蚀刻和灰化应用提供了可靠可靠的解决方桉。
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