二手 NEMS NEMST-JET- 2008III #9247042 待售

NEMS NEMST-JET-2008III是一种多功能蚀刻器/ascher,旨在为各种基材表面提供高度精确的蚀刻和灰化工艺。NEMST-JET-2008III采用真空技术和DSA技术来生成各种图像,这些图像可以是定制的或地形匹配的。NEMS NEMST-JET-2008III的特点是其可靠和行之有效的性能，提供清洁的工艺结果，具有最大的可重复性和可重复性。它还由一个先进的控制系统提供动力，该系统提供快速的自动参数设置，并结合用户友好的图形界面，允许快速和方便的手动调整。NEMST-JET-2008III使用户能够控制所有蚀刻和灰化参数,包括工艺压力、腔室温度、气流和工艺持续时间。此外,NEMS NEMST-JET-2008III的精确机械设计使我们能够对工艺进行微调,并为各种材料选择不同的配方。NEMST-JET-2008III上的蚀刻和灰化过程使用远程射频等离子体进行，该等离子体可以调谐到最佳频率。这将气体在腔内精确而均匀地引导，从而消除了不均匀的面积高度。此外，该工艺气体可以根据材料类型进行优化，允许高质量的蚀刻和灰化工艺。NEMS NEMST-JET-2008III具有一个大的21英寸直径的腔室,允许在腔室内部进行大的基板装载。圆柱形腔室的设计使反应性气体的有效排空和基板支架的悬浮处理同时具有良好的温度均匀性。最后,NEMST-JET-2008III为用户提供了快速、精确和可靠的蚀刻和灰化工艺。广泛的参数可以单独调整以获得完美的蚀刻和灰化结果。RF等离子体的使用也使得结果独立于底物。此外,用户界面和过程控制使NEMS NEMST-JET 2008III快速直观地设置、运行和监视进程。