二手 NEMST 2002 #9244938 待售

NEMST 2002是一种蚀刻器/asher或等离子体蚀刻工具，设计用于制造复杂的半导体结构和器件。它通过利用电磁场产生高能等离子体来发挥作用。这个场是由500 kHz，40 mT射频（RF）电源产生的，它在样品周围产生一个均匀的电场。2002由一个不锈钢腔室、一个围绕腔室的射频线圈、一个带有单一气体进料的真空系统以及一个要蚀刻的样品或基板组成。不锈钢室呈圆柱形，内半径85厘米，高30厘米。射频线圈产生电场，而真空系统则将腔室内的压力维持在安全水平。气体进料根据要应用的蚀刻类型提供不同的气体。当对腔室施加低压（5-7毫巴）并开启射频线圈时，蚀刻过程开始，产生均匀的电场。该场导致腔内带电粒子向样品加速，释放能量并建立蚀刻过程。蚀刻速率是可变的，从10到100 nm/min不等。用于蚀刻的气体种类以及蚀刻条件都是可定制的，可以编入NEMST 2002进行精确蚀刻。此外，2002年可用于进行选择性蚀刻，其中样品的某些区域以不同的速率蚀刻。NEMST 2002能够存储多达2900种蚀刻配方,并且可以轻松编程。2002年还配备了警告系统等安全功能，在压力、温度或射频传输不在安全范围内时提醒操作员。最后，NEMST 2002是一种设计用于制造先进半导体结构和器件的可靠、高效的蚀刻器。它的射频线圈产生一个均匀的电场，允许对腔内的样品进行复杂的处理。此外，2002年用户友好，非常适合教育和工业应用。