二手 NEMST 2002 #9244939 待售

NEMST 2002是专门为晶圆处理而设计的高级蚀刻器/asher。它具有高吞吐量,最长工艺时间为8秒,高效可靠的单级工艺,产量最大化。2002年推动了一个真正的单级工艺，允许更高的蚀刻速度和减少颗粒缺陷。其先进的工艺控制设备使用预先设定的参数来实现一致的性能,并提供了根据特定材料定制工艺条件的灵活性。加热器是温度控制的精确和一致的温度与精确定位系统的精确目标重复。主室最多可容纳12个晶圆。为了保护材料不受氧化，腔室还利用惰性气体，典型的是氮气或氙气。它可定制用于各种蚀刻配方，包括湿法和干法蚀刻溶液，并具有用于快速蚀刻的自动抽油机。为确保均匀性，通过使用比例阀，工艺气流是可调可控的，嵌入式热电偶确保整个蚀刻过程中的关键温度监测。NEMST 2002还具有精确成像和数字图像处理功能。利用数字成像技术，该装置能够在整个蚀刻过程中精确监控晶圆轮廓和端点检测，精度高。精确的端点识别由超低温测量机进一步增强，该机监视整个晶圆上的温度，从而确保一个统一的过程端点。2002年独特的设计采用先进的工程设计制造。这些部件具有耐腐蚀和耐化学性能，其设计采用精确的测量方法，以实现高性能和一致性。轻巧的设计，加上高工艺速度和可靠性，使得NEMST 2002成为晶圆处理的理想选择。它的人体工程学也允许方便、便于携带和用户友好的操作。