二手 NEMST 2002S #293610013 待售
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NEMST 2002S是一种紫外线（UV）蚀刻器/灰烬,广泛应用于众多科学和工业领域。这种最先进的光刻仪器设计用于对各种基材中复杂图桉的精密蚀刻。2002S为三维蚀刻提供了四个晶圆容量和运动轴,能够提供出色的图样,并对蚀刻深度、精度和可重复性进行极其严格的控制。NEMST 2002S由多种组件组成，如UV灯、石英顶板、成像光学器件、分束器和分束器。紫外线灯提供必要的曝光光，而石英顶板减少了蚀刻过程中曝光产生碎片的机会。利用成像光学器件和分束器将光引导到晶片安装座，而光束转运器确保精确的曝光区域。2002S通过预处理、蚀刻和后处理过程运作。在预处理阶段，石英顶板被清洗，晶片在蚀刻前涂上光致抗蚀剂。然后通过晶片的紫外线激光曝光进行蚀刻，由分束器和光束转运器控制，以确保一致的蚀刻深度。最后，后处理过程涉及开发抗蚀剂、化学剥离和抗剥离的过程。然后完成的抵抗模式就可以进一步处理了。NEMST 2002S控制非常精确，能够以非常高的精度和可重复性蚀刻复杂的图样。该仪器已被广泛应用于工业和科学应用，如口罩生产、OLED制造、薄膜晶体管、医疗设备、太阳能电池制造，仅举几例。由于其几项技术优势，如提高精度、高可重复性、激光曝光精度以及广泛的应用用途，2002S被认为是许多行业和实验室中非常重要的设备。
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