二手 NEXSO NSC7000 #9153448 待售
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ID: 9153448
PECVD Systems
Electric power: 208VAC/100A
Air: 75±5 Psig 3/8"
PCWS/PCWR: 4 l/m (Max Flow), 4Kg/cm2, 3/8"
Exhaust: 60 CFM
Cassette chamber: Sensor
Loadlock chamber: Robot (Brooks PRI-MTR5)
Process chamber: RF power TC heater (6061T6 Aluminum) shower head
Vacuum line: Dry pump gate valve throttle valve B
Gas line: MFC Air valve gas monitor gas cabinet gas bombe filter.
NEXSO NSC7000是一种先进的蚀刻和灰化工艺设备,用于各种电子应用。它允许精确地应用化学品,以便以极高的精确度在表面上进行蚀刻或灰化处理。该系统是完全自动化的,具有先进的原位电阻级测量以及对工艺参数的自动控制。蚀刻和ashing参数可以从web界面内部编程,允许用户配置自己的设置,以最适合自己的特定需求。该单元还具有完整的机器监视功能,允许远程监视整个刀具参数和活动。NSC7000可用于所有类型的蚀刻和灰化过程,包括照片蚀刻、激光阵列和深反应性离子蚀刻(DRIE)。该资产允许在各种基板上应用不同的化学物质,如晶圆、硅和移植物。NEXSO NSC7000包括几个关键部件,包括一个可镀罐、用于化学沉积的电解质和一个用于蚀刻和灰化过程的真空/背压室。NSC7000为用户提供了在各种电子应用中使用不同蚀刻和灰化工艺的灵活性。这包括半导体、多氯联苯、厚膜电路和磁性线圈的蚀刻,以及光刻抗蚀剂、氧化铝、玻璃等抗氧化材料的灰化。该模型具有多种工艺气体,包括氯化氢、三氟化氯和氟化碳氢化合物。该设备旨在确保蚀刻、灰化和化学应用过程中的最高安全和可靠性。它有一个化学惰性钛罐,防止化学降解,和一个温度监测系统,确保过程参数保持在安全的工作温度内。NEXSO NSC7000是一个先进的工艺单元,它允许将化学品安全可靠地应用于各种基材和材料的蚀刻和灰化过程。这台机器具有灵活、用户友好的可编程界面,为用户提供了必要的工具,以安全、准确地实现他们所期望的结果。
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