二手 NEXSO NV10 #9130696 待售

製造商
NEXSO
模型
NV10
ID: 9130696
晶圆大小: 5"
优质的: 2002
High current ion implanter, 5" Main power supply (all UPS power supply) = 208V3 phase 5-wire 135A Grounding 1 ohm, electric power 45KVA Cooling water inlet Cooling water outlet N2 Gas CDA Argon special gas Boron specialty gas General exhaust Toxic exhaust General vent 2002 vintage.
NEXSO NV10是一种蚀刻器/asher,它是一种在一台机器中结合蚀刻器和asher功能的设备。它被设计用于制造微型元件,如微电子集成电路(IC)。NV10是一种用于单面和双面通过蚀刻和工艺分析的自动湿蚀刻和灰化设备,可作为独立系统使用或与PVD单元集成。它由三个主要组件组成:蚀刻器/asher、托盘和组件机架。该机器能够以高达100毫米/分钟的速率蚀刻和粉刷各种基材。NEXSO NV10旨在提供精确的工艺控制,最大蚀刻深度为1 µm,最小蚀刻时间为5分钟。它还具有动态灰化工具,允许编程和手动灰化。热传感器、化学传感器和光学传感器确保所有组件的均匀蚀刻和灰化。该机器配备了基于Windows的操作资产,允许操作员编程多个蚀刻配方,并在监控实时流程数据的同时调整流程参数。它还配备了增强型真空绝缘机构,有助于减少热损失量。NV10是一种紧凑且用途广泛的蚀刻器/asher,可用于单层和双层蚀刻。此外,它还提供以太网连接,以便与其他工艺工具集成,并能够编程各种蚀刻配方。总体而言,NEXSO NV10是一种功能强大且高效的蚀刻器/asher,非常精确,可用于始终如一地生产高质量的IC原型和组件。它结合了自动化过程和精确控制,非常适合半导体和其他微电子器件的制造。它能够与其他工具集成并提供详细的工艺数据,这使得它对商业和工业应用更具吸引力。
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