二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293616503 待售

NORDON MARCH NORDSON MARCH AP-1000是一款先进的蚀刻器/asher设备,设计用于在GaAs、InP、Si以及其他III-V材料等多种基材上实现高通量和高分辨率。该系统采用低压反应性离子蚀刻工艺，使细线和通过层的蚀刻极为精确。NORDSON MARCH AP 1000利用多种技术，包括电子回旋共振蚀刻、直流蚀刻、高偏置蚀刻，提供优越的蚀刻速率、优异的蚀刻精度，以及对蚀刻形状的控制。AP-1000体系结构包括双频发生器,可实现两个同时蚀刻过程,包括中密度等离子体蚀刻和大长宽比蚀刻。先进的晶圆电机组件为生产提供了极好的均匀性和可重复性。该单元配备了一个负载锁，允许安全的样品加载，以及一个远程等离子体源清洗腔室。AP 1000的专有控制软件允许定制蚀刻参数以获得最佳效果。该软件界面使用户能够对微波频率、偏置电压、工艺压力等蚀刻配方参数进行编程，以达到最佳性能。此外，该机器还配备了先进的终点检测方法，包括飞行时间质谱和光发射光谱，以及其他先进的工具，以确保过程的可持续性。这种多功能工具为各种蚀刻和灰化应用程序提供了卓越的性能。蚀刻特征的长宽比可达30：1,薄膜厚度可达100 nm。蚀刻结果的精确度和准确性是市场上最高的产品之一,可为客户提供各种设备尺寸和几何形状的卓越结果。此外,NORDSON MARCH AP-1000的高吞吐量功能使其成为大批量生产的理想选择。