二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293753808 待售

Normson March NORDSON MARCH AP-1000是用于生产高纯度半导体元件和工业产品的蚀刻和灰化系统。该系统由两个相互连接的会议厅组成；一个等离子体蚀刻室和一个快速热灰化室。等离子体蚀刻室利用高能电子束产生均匀的热等离子体环境进行蚀刻过程。这种强大的离子通量有助于快速、精确地去除工艺基板上的氧化物层和其他杂质，同时也将离子损伤和附带表面损伤降至最低。该腔室的真空额定功率为2毫巴，由48V直流电源供电。第二室，即快速热灰化室，是一种使用丙烷-空气溷合物快速加热基板的高温炉，能够迅速有效地对等离子体处理后仍然存在的有机物层进行热分解。温度可从25摄氏度调节到1400C，腔室可达到2000摄氏度以上的温度。此外，该腔室还允许氧气和氮气的大气灰化，并允许脱除挥发性残留物的氙气灰化。此外，Normson March NORDSON MARCH AP 1000的特色是外部可开启的侧腔，让使用者可以直接存取基底卡带，以提高吞吐量；允许快速和方便地交换基板。专用传输端口允许外部刀具访问。所有这些功能为工业和半导体生产中使用的高性能蚀刻和灰化工艺创造了理想的环境,同时提供了安全高效的用户体验。诺姆森三月AP-1000使生产优质产品变得简单方便。