二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293771112 待售

NORDSON MARCH AP-1000 Plasma Asher是NORDSON MARCH提供的Plasmatech™蚀刻设备,专为生产多种基材而设计。NORDSON MARCH AP 1000是一个基于独特等离子体减压（PRP）室的单室系统，该室同时配备电子回旋共振（ECR）和感应耦合等离子体（ICP）源。AP-1000能够以尽可能高的重复性和极高的精度蚀刻各种材料。该单元完全配备了大量高度先进的技术，使其能够加工直径达12英寸（304.8毫米）的基板，最大纵横比为10：1。AP 1000能够产生极均匀的蚀刻深度和大约1 µm的特征大小。该计算机还具有广泛的功能和功能,包括自动调节工具、可变腔室温度控制资产以及通过基于Windows的GUI导航的计算机。此外，NORDSON MARCH AP-1000具有更高的沉积频率，增加蚀刻速率，提高蚀刻均匀性。这是通过使用高频ECR源实现的，该源的占地面积比大多数其他源都大。此外，该型号还包括蚀刻配方的自动校准，以及样品加热器和抗性涂层口罩等多种可选配件。NORDSON MARCH AP 1000是一种设计精良且可靠的设备,非常适合用于研究和高生产环境。