二手 NORDSON MARCH AP-1000 #9196956 待售

NORDSON MARCH AP-1000是为各种半导体蚀刻工艺而设计的蚀刻机。它具有集成真空设备和控制系统，允许用户选择诸如端点检测和基板温度等参数。蚀刻过程发生在一个石英包裹的腔室中，在那里要蚀刻的基材被加热到高温，并暴露于反应性化学气体中。NORDSON MARCH AP 1000具有高效的低压沉积单元,能够提供精确、均匀的结果。本机还提供快速冷却和均匀蚀刻型材，非常适合沉积、退火、反应性离子蚀刻等先进应用。此外，蚀刻器还包括一个可容纳六个300毫米晶圆的加工室，以及一个冷却剂和气体流动工具。AP-1000还包括用于控制基板温度的温度控制资产。AP 1000上的图形用户界面直观，允许用户轻松控制蚀刻过程。Chamber Control Interface允许用户定制工艺参数，如压力、温度、气流、偏置材料成分以及气体注入速率和持续时间。ChamberView软件在蚀刻过程中实时可视化基板的正面和底部平面视图。在安全性方面，NORDSON MARCH AP-1000采用集成的空气净化模型，确保有害气体和反应产物如金属卤化物自动从加工室中除去。该蚀刻器还配有一个免费的冷却设备，以防止过热，以及一个紧急电源关闭开关。此外,NORDSON MARCH AP 1000还内置了模块互锁系统,可防止进程中断。总体而言，AP-1000蚀刻器为各种半导体蚀刻工艺提供了一个高度可靠、易于使用的平台。其申请专利的腔室单元确保了在多个晶圆直径上的均匀结果，而其高效的沉积机则提供了快速的冷却速率和精确的蚀刻轮廓。AP 1000还配备了用户友好的图形用户界面和确保安全高效运行的集成安全系统。