二手 NORDSON MARCH AP-300 #293652419 待售

NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher是一种高效快速作用的台式蒸气蚀刻/灰烬设备，用于蚀刻和灰化半导体晶片、MEMS以及Si、SiO2、SiN等其他基材材料。MARCH NORDSON MARCH AP 300 蚀刻器/asher是处理异地研究和原型样品的理想机器。它结合了烤箱蚀刻/灰分系统的效率和湿蚀刻的多功能性。MARCH AP-300 Etcher/Asher构建在NORDSON MARCH E100平台上,非常适合研发组织,因为该单元提供了多种流程。MARCH AP 300可以使用不锈钢钟罩外壳处理直径达200毫米的样品，该外壳能够产生高达29.5英寸的真空压力。这提供了均匀且可重复的样品蚀刻和粉刷，而无需负载锁或烘烤站。单循环过程控制器用于控制腔室温度和压力。控制器采用直观的软件界面，采用了最新的微处理器技术，允许定制和可重复的过程。MARCH NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher还配备了操作员联锁、紧急关闭、断键器、真空监控等安全功能。为了提高灰度效率,MARCH NORDSON MARCH AP 300采用了拍打门阀,可在正面和背面灰之间快速轻松切换。集成晶片载波和卡盘与水平支持机保证安全的蚀刻环境，一致的结果和可重复性。MARCH AP-300提供了多种配方编辑选项。它旨在允许用户通过使用预定义的相位参数设置压力、时间、温度和流量来创建过程配方。这意味着用户可以快速准确地根据自己的需求定制流程。MARCH AP 300还附有专利的NORDSON MARCH无机氧化物去除（M-IOR）工具。这种资产在沉积润湿层方面不会浪费任何时间-确保完美的氧化物粘附和蚀刻。总体而言,NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher是一种先进的台式蚀刻和灰化模型,在半导体、MEMS和其他基板加工方面提供了无与伦比的精度和一致性。其高度可定制和可重复的过程使其成为研发组织的理想设备。