二手 NORDSON / MARCH AP-600/300 #9401924 待售

MARCH AP-600/300是一种用于半导体行业的蚀刻器/asher。它专为生产需要超高精度蚀刻和灰化工艺的元件而设计。这种蚀刻器/灰化器具有高达10-6 torr的真空能力，使用户能够以最小的污染或缺陷风险将材料精确地沉积到基板上。蚀刻器/asher还具有双频等离子体发生器，频率在600至300 kHz之间，产生了一个高离子密度的过程，最大持续功率高达15 KW。NORDSON AP-600/300配备了数字触摸屏控制器，提供易于使用、直观的蚀刻器/asher功能控制。用户可以选择所需的蚀刻工艺类型，包括CF4、CF2Cl2、LASMA、N2O、O2和H2，系统将自动调整每个工艺的功率和压力设置。可以对各种参数设置进行编程,从而可以精确控制蚀刻速率和其他过程变量。NORDSON/MARCH AP-600/300提供的精密蚀刻和灰化是生产半导体元件的理想选择，包括高精度V型凹槽、互连、栅极蚀刻和通孔。对于广泛的材料，包括多晶硅、铝、SiO2、Si3N4和粘合层，蚀刻/灰化过程可以在X-Y平面上精确偏移。此外，蚀刻器/asher与一系列配件兼容，包括一套通用编程模板、各种特定于流程的样板托盘，以及一些自动装卸臂。蚀刻器/asher还具有一个无失真成像系统，为用户提供正在处理的基板的清晰、详细的视图。总体而言,MARCH AP-600/300是精密半导体生产应用的绝佳蚀刻器/灰化器。此蚀刻器/asher具有广泛的工艺设置、自动装卸臂和无失真成像系统,旨在满足即使是最复杂的蚀刻和灰化要求。