二手 NORDSON / MARCH AP-600 #9182457 待售

NORDSON/MARCH AP-600是一种紧凑、高质量的蚀刻和灰化设备,旨在最大程度地提高生产效率和工艺精度。其直观的设计允许在不同的工艺步骤之间进行极快的转换，使其非常适合广泛的晶圆处理要求。MARCH AP-600先进、灵活的设计使其适用于从集成电路制造到医疗器械研发等多种蚀刻和灰化应用。NORDSON AP-600的设计具有最高的精确度和工程水平,能够实现一致和可重复的结果。该系统配备了先进的、高分辨率的用户界面，以快速引导操作员通过过程，以及加热的基板，以确保高蚀刻速率和均匀的颗粒分布。此外,该单元还具有可编程的斜坡速度机,允许用户在不牺牲时间或准确性的情况下更改蚀刻速率以获得最佳结果。AP-600还具有集成的动态水平控制（DLC）功能,它使用户能够独立控制粒子流动和分布,在细线图样上创建完美的蚀刻。NORDSON/MARCH AP-600的配置还允许用户对下游压板的倾斜进行编程，允许更精确的材料控制，以及在执行不同的工艺步骤时具有灵活性的双腔蚀刻配置。此外，该工具还配备了金属蚀刻和灰化功能，以及半自动基板载荷。MARCH AP-600设计有两个独立的等离子体源，一个用于蚀刻，一个用于灰化，允许用户同时进行两个不同的过程。通过机载气体反馈资产自动调整等离子体源，确保每个应用的最佳等离子体组成。该车型还配备了真空疏散tor，用于排气蚀刻和灰化副产品，以及集成到真空管线中的高精度数字质量流控制器。NORDSON AP-600是一种功能强大、经济高效且可靠的蚀刻和灰化设备,可让用户获得精确、一致的结果。该系统得到了MARCH团队的卓越客户服务和支持,为用户提供了安心和附加值。