二手 NORDSON / MARCH FasTRAK #293639143 待售

NORDSON/MARCH FasTRAK是一种先进的蚀刻和灰化设备,设计用于快速准确地蚀刻和灰化基板,无需操作员干预。该系统是一个全自动、独立的单元,提供温度和压力控制、精确的模式控制以及完整的过程外壳。该单元非常适合各种蚀刻和灰化应用,包括微机械加工、半导体制造、医疗设备制造等。MARCH FasTRAK蚀刻机/asher机提供了一个简单但功能强大的平台来快速准确地加工基板。该工具旨在减少蚀刻和灰化基板所需的时间,从而提高产品产量,提高工艺可重复性,并加强工艺控制。该资产包括创新且易于使用的用户界面,以及简化设置和配方管理的图形用户界面（GUI）。该模型利用强大而先进的蚀刻/灰化技术，对基板进行精密加工。该设备设有三个可编程蚀刻/灰烬设施，包括干蚀刻、湿蚀刻和等离子体蚀刻，以及可选的等离子体清洗。该系统还提供多种高级蚀刻功能和工艺，包括深反应性离子蚀刻（DRIE）、感应耦合等离子体蚀刻（ICP）、化学机械抛光（CMP）等等。NORDSON FasTRAK 蚀刻器/asher单元旨在提供高效且可重复的蚀刻/蚀刻过程。该机器非常适合各种应用，包括无接触光刻、先进的光学设备制造和光掩模制造等。该工具允许用户配置每个设施内的参数,以确保获得所需的蚀刻/灰化结果。此外，资产提供保存和召回工艺配方的能力，允许用户快速召回不同基板的参数集。FasTRAK 蚀刻器/asher模型还具有先进的安全功能,包括用于人员保护的互锁设备和用于排放控制的洗涤器。该系统设计有1类1类存储模块,以确保人员在蚀刻/灰化过程中保持安全。洗涤器能够控制颗粒类型、大小和浓度，确保过程中释放的任何危险颗粒得到控制并释放到安全水平。总体而言,NORDSON/MARCH FasTRAK 蚀刻器/asher单元是一种功能强大且先进的蚀刻和灰化机,旨在快速准确地蚀刻和灰化基板,而无需操作员干预。该工具具有用户友好的界面、高级功能和强大的安全功能,非常适合各种蚀刻和灰化应用程序。