二手 NORDSON MARCH FlexTRAK #293798779 待售

NORDSON MARCH FlexTRAK是为高速晶圆处理而设计的最高性能蚀刻器/asher。FlexTRAK设计占用空间小,拥有成本低。它通过使用专利Q-2技术提供卓越的性能。该设备设计的固定温度范围为35°C至150°C，适合广泛的晶圆应用。该系统还提供气体-1或气体溷合控制,在不同的蚀刻和灰度温度下可灵活处理。NORDSON MARCH FlexTRAK设计有一个独立的真空单元，允许它在没有内部真空泵的情况下运行。这样可以提高流程效率,减少处理时间和功耗。该机还配备了气体排气功能，允许多余的气体和微粒安全排放。FlexTRAK采用可拆卸盖构造，允许快速进入内部气体面板和隔离器，以调整不同蚀刻和灰化操作的参数。它的变速输送机工具允许广泛的工艺速度，使得它适用于低和大体积的应用。NORDSON MARCH FlexTRAK还具有图形用户界面（GUI）,可轻松访问设置创建和存储以及高级管道和诊断。GUI还提供了一种设置过程参数的方法,例如蚀刻和灰化率、晶圆大小以及其他特定于应用程序的设置。FlexTRAK是一种经济实惠的高端晶圆处理解决方桉，其设计非常适合用于小规模生产。其变速输送机资产和先进的GUI在易于操作的模型中提供了最大的控制和灵活性。设备还可以方便地扩展，以适应未来的需求和工艺应用。