二手 NORDSON MARCH FlexTRAK #9299708 待售

NORDSON MARCH FlexTRAK是一个高级蚀刻或蚀刻/洗涤平台，设计用于研究、开发和测试新的蚀刻、清洁和洗涤工艺。它能够处理各种工艺化学物质，以精确调整和控制蚀刻深度、蚀刻时间、蚀刻污染、蚀刻排泄率和蚀刻速率。MARCH FlexTRAK控制所有蚀刻参数包括蚀刻反应堆加压、晶圆预热系统、等离子体气流、向电极供电、可调射频功率、可调蚀刻溶液体积。NORDSON MARCH FlexTRAK平台可用于创建特定于应用程序的配方,利用对所有参数的精确控制来获得最佳蚀刻结果。FlexTRAK在其创新、易于使用的设计中支持多种工艺化学。蚀刻过程化学是完全模块化的，这意味着用户可以在蚀刻过程中添加或移除化学。这在开发各种工艺配方时特别有用，因为用户可以轻松地在不同的化学方法之间切换。NORDSON MARCH FlexTRAK由一个单室真空蚀刻器/洗衣机、多个集成的处理室以及一个控制整个蚀刻、清洁和干燥过程的数字触摸屏控制面板组成。蚀刻室由高频电源供电，允许精确控制蚀刻速率和蚀刻深度。蚀刻室还包含一个内置的水分传感器，以确保在基板表面均匀蚀刻。综合工艺室提供可调的工艺化学组合，以开发新的配方，允许清洁和后蚀刻工艺，并提供优化的蚀刻环境。内置传感器和控制系统确保了最佳蚀刻轮廓。最后,FlexTRAK具有强大的用户界面,可管理所有蚀刻参数。控制面板允许调整所有蚀刻参数，包括蚀刻深度、蚀刻时间、温度、气流和射频能量。它还具有高级建模和数据收集功能,能够准确开发独特的蚀刻工艺。此外,MARCH软件套件可轻松将蚀刻和清洁过程集成到单个应用程序中,从而简化流程开发。总之，NORDSON MARCH FlexTRAK是一个功能强大的蚀刻、清洁和清洗平台，提供用户友好的控制、广泛的工艺化学方法、可调蚀刻参数，以及一系列集成传感器和诊断程序，可精确控制蚀刻工艺。它易于使用的控件和强大的功能使其成为各种蚀刻应用程序的理想平台。