二手 NORDSON / MARCH MaxVIA #9314778 待售

NORDSON/MARCH MaxVIA是一种先进的自动Etcher/Asher，用于晶圆和基材的高容量、精密蚀刻和灰化。MARCH MaxVIA旨在在处理各种材料时提供快速一致的结果。该过程从将晶片加载到NORDSON MaxVIA的用户友好型转运站开始,该转运站安全定位并保持晶片进行处理。MaxVIA配备了几个安全功能，包括晶圆处理系统、防弹跳悬架、晶圆定心单元以及为提供安全操作和保护环境而设计的惰性气体净化装置。NORDSON/MARCH MaxVIA具有两个独立的电源,每个电源可提供高达400瓦的功率。这样可以实现理想的工艺温度,确保每个工艺批次的结果一致。蚀刻器/asher还设计了一个精密的过程控制系统，可用于生成程序循环时间和过程参数如温度、压力和气体流速。工程师可以自定义每个工艺的配方,设置蚀刻和灰化率、温度、气体溷合物和其他参数以创建所需的结果。MARCH MaxVIA还提供两个独立控制的工艺室，方便晶圆同时蚀刻和灰化。NORDSON MaxVIA的精确且可重复的结果，除了维护成本低外，使其成为大容量蚀刻和灰化应用的理想解决方桉。操作员还可以通过PC或智能手机远程访问进程室，允许用户从任何位置监控和调整配方。总体而言,MaxVIA是功能强大但用户友好的Etcher/Asher,非常适合各种应用程序。它的安全特性有助于确保安全的操作环境，而其可编程参数和多个腔室则进一步提高了效率和精度。