二手 NORDSON / MARCH MaxVIA #9397009 待售

NORDSON/MARCH MaxVIA是为半导体封装、微电子及相关行业而设计的先进的自动化蚀刻和asher设备。它利用先进的等离子体蚀刻在薄膜基板上产生精确的特征。MARCH MaxVIA是Nordsom知名的MaxFlex等离子体系统的扩展版本，提供了更高的蚀刻速率和卓越的特性精度。NORDSON MaxVIA具有为生产用途而设计的高通量、高精度等离子蚀刻单元。它能够从多种材料中蚀刻多层，包括光刻胶、SiO2、Si3N4和石英。其先进的等离子体源由两个平板等离子体源组成，为高通量、高蚀刻速率的精细结构和电路提供可控、聚焦、深蚀刻等离子体。该机具有多种智能设计特点，如先进的反馈控制工具，可确保高蚀刻均匀性和可重复性。它集成了光学扫描功能，大大减少了序列间的错位，允许精确的特征配准和模式精度。MaxVIA还具有先进的安全系统，例如一个完整、集成的不锈钢吸尘室和静态清洁传感器，以及一个带有机电互锁的强真空锁。这确保了操作员的安全，并提供了一个清洁无污染的基材加工环境。NORDSON/MARCH MaxVIA可以手动或全自动模式操作，允许用户根据生产需要选择最佳的处理配置。它还有一个可选的机器人预对准资产，它允许多个基板加载到模型中，以便相对于源和目标位置精确放置。MARCH MaxVIA是一个功能强大、可靠且灵活的解决方桉,用于生产微电子和半导体封装行业的高精度结构、特性和电路所需的高级蚀刻和灰化系统。其集成的安全系统、自动控制功能和符合人体工程学的设计为用户提供了高效、安全的生产环境,并带来了很多好处。