二手 NORDSON MARCH ProVIA #9374850 待售

NORDSON MARCH ProVIA是一种干式蚀刻机，设计用于半导体和光电加工。ProVIA用于从硅片到玻璃的各种材料的深度蚀刻、平面化和图案化。它具有低颗粒环境、真空环境和高处理能力。NORDSON MARCH ProVIA是一款可靠、稳定和高精度的设备。它高度可配置用于各种应用，包括可调谐的射频电源和真空室。系统的主要部件是一个进程室、负载/卸载模块、射频感应电源、辅助硬件和过程控制系统。ProVIA的製程室设有40个开放口和5个样本套件方便。它在平面化方面提供了极好的一致性,从而实现了可重复的结果。其先进的等温温度控制装置可在基板上提供高达800°C的温度控制。还有一个不均匀的气体分配机，它提供了较长的加工时间和横跨基板的均匀蚀刻速率。NORDSON MARCH ProVIA的射频电源设计为即使在处理重载晶片时也能保持稳定。其先进的射频控制工具提供了多种调谐参数，如超调和歇斯底里，对过程均匀性和蚀刻速率提供了极好的控制。资产还具有高精度的监控/允许模型，允许用户实时调整过程参数。ProVIA还设计用于快速周转时间，短处理周期只有30秒。它具有低成本维护功能,大多数模块和部件易于更换。它效率高，对人体工程学友好，需要最小的操作空间。它的快速处理时间和多个样本集使其成为需要高吞吐量的应用程序的绝佳选择。NORDSON MARCH ProVIA是一种全面可靠的干蚀刻解决方桉,用于通过多种材料进行深度蚀刻、平面化和阵列化应用。它具有极好的均匀性、较长的处理时间和较快的周转时间，是半导体和光电加工的理想选择。