二手 NORDSON MARCH X-TRAK #293608227 待售
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NORDSON MARCH X-TRAK是一个自动蚀刻/灰烬处理平台，设计用于晶圆级器件测试和制造。NORDSON MARCH XTRAK采用双头设计,可提高速度和精度,并在单个平台上灵活执行蚀刻和灰化操作。X-TRAK的上臂带有专用的蚀刻头，下臂带有ashing头，每个臂都有自己的遥控机动设备。这允许用户使用位于系统前部的操纵杆在X、Y或Z轴上精确移动晶圆或夹具。XTRAK连接到外部PC以进行数据输入和编程,还可以连接到其他设备。NORDSON MARCH X-TRAK由不锈钢和其他材料制成，外壳内有密封的惰性气氛，确保化学品的安全处理。这是通过独特的半闭环气体输送装置和自动采样实现的。O2、N2或Ar控制机可以容纳各种蚀刻和灰化气体，用于各种材料。当进行蚀刻操作时,使用NORDSON MARCH XTRAK的蚀刻头。它有两个带有可调参数的标准选项,因此您可以选择适当的蚀刻速率、温度和深度。蚀刻头还配备了自动颗粒过滤工具，帮助你保持清洁的工作环境。X-TRAK的灰头使用红外加热来快速高效地退火或涂层表面,而不会过度使用热量。这是以受控的速度完成的，这是针对正在加工的材料量身定制的，消除了由于过度加热而可能造成的任何破坏。最后,XTRAK内置的安全功能有助于保护用户和技术人员不会接触有害材料。它在发生任何意外事件时具有自动关闭功能，以及在打开资产时启动的真空触发器，从而能够安全提取模型中存在的任何危险物质。NORDSON MARCH X-TRAK是满足大容量蚀刻和灰化需求的理想选择。它具有自动化和完全可编程的平台,是一个高效、安全和可靠的解决方桉,可满足您的许多晶圆级处理需求。
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